在半導(dǎo)體制造工藝中，氯氣（Cl?）主要應(yīng)用于以下關(guān)鍵環(huán)節(jié)，這些環(huán)節(jié)均基于其強(qiáng)氧化性和化學(xué)反應(yīng)特性，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體材料的精準(zhǔn)加工或清潔：

一、晶圓干法蝕刻

工藝目的：通過(guò)化學(xué)反應(yīng)精確去除晶圓表面特定區(qū)域的半導(dǎo)體材料（如硅、硅化物等），構(gòu)建微米級(jí)或納米級(jí)電路圖案。
氯氣作用：氯氣作為核心蝕刻氣體，在等離子體環(huán)境下分解為氯自由基（Cl·），與硅（Si）發(fā)生化學(xué)反應(yīng)（Si + 2Cl? → SiCl?↑），生成易揮發(fā)的四氯化硅氣體，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓特定區(qū)域的“選擇性刻蝕"，確保電路圖案的精度（如線寬偏差＜0.1μm）。

二、光刻膠剝離

工藝目的：清除光刻工藝后殘留的光刻膠（一種光敏聚合物材料），避免其影響后續(xù)離子注入、金屬沉積等工藝的潔凈度。
氯氣作用：氯氣與氧氣（O?）混合形成等離子體，與光刻膠中的有機(jī)成分發(fā)生氧化反應(yīng)，將光刻膠分解為CO?、H?O及含氯揮發(fā)性物質(zhì)，通過(guò)抽氣系統(tǒng)排出，實(shí)現(xiàn)晶圓表面的清潔。

三、離子注入后清洗

工藝目的：離子注入工藝（向晶圓摻雜雜質(zhì)以調(diào)整導(dǎo)電性）后，清除晶圓表面殘留的雜質(zhì)離子、光刻膠殘?jiān)胺磻?yīng)副產(chǎn)物。
氯氣作用：氯氣的強(qiáng)氧化性可分解殘留的有機(jī)污染物（如光刻膠碎片），同時(shí)與金屬雜質(zhì)離子形成可溶性氯化物，通過(guò)后續(xù)濕法清洗去除，確保晶圓表面潔凈度符合半導(dǎo)體工藝要求（顆粒度＜0.1μm）。

以上環(huán)節(jié)中，氯氣的應(yīng)用直接關(guān)系到半導(dǎo)體器件的性能（如蝕刻精度、電路導(dǎo)通性）和良率，是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵輔助材料。

在線式氯氣氣體檢測(cè)儀采用高性能智能化氣體傳感器，是一款可在線氣體進(jìn)行連續(xù)在線監(jiān)測(cè)的高性能儀器。探測(cè)器整體隔爆結(jié)構(gòu)，靈敏度及精度高。在線式氯氣氣體檢測(cè)儀探測(cè)器通過(guò)氣體報(bào)警控制器及監(jiān)控管理軟件在電腦上可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)濃度顯示，也可以通過(guò)選配的無(wú)線模塊將實(shí)時(shí)的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)和報(bào)警狀態(tài)傳到安全控制中心

在線式氯氣氣體檢測(cè)儀信號(hào)傳輸方式

三芯（四芯）屏蔽電纜傳輸：最遠(yuǎn)可傳輸1000米至2000米（單芯1平方屏蔽電纜）

光纖傳輸：最遠(yuǎn)可傳輸20～40公里，光纖MODEM單模多芯傳輸（選配）

GPRS無(wú)線傳輸：無(wú)距離限制，內(nèi)置模塊，通過(guò)運(yùn)營(yíng)商信號(hào)傳輸（選配）